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半导体芯片通常进行了封装,其内部结构或形态是检测半导体芯片内部缺陷的数据来源和判断依据。XRay检测设备利用X射线的强穿透性设计的透视成像设备,能够揭示受照体内部的结构或形态,较好地解决半导体芯片缺陷检测问题。
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